TY - JOUR ID - 4101 TI - آنالیز حساسیت کلی پارامترهای نانوماشینکاری با استفاده از میکروسکوپ روبشی حرارتی دینامیکی JO - نشریه مهندسی مکانیک امیرکبیر JA - MEJ LA - fa SN - 2008-6032 AU - نصیری طوسی, شاهین AU - اسماعیلی ترکانپوری, کاوه AD - گروه مهندسی مکانیک، واحد تبریز، دانشگاه آزاد اسلامی، تبریز، ایران Y1 - 2021 PY - 2021 VL - 53 IS - 4 SP - 2367 EP - 2384 KW - آنالیز حساسیت کلی KW - تحریک پایه KW - ارتعاشات حرارتی KW - نانوماشینکاری KW - میکروسکوپ روبشی حرارتی DO - 10.22060/mej.2020.17509.6607 N2 - در این تحقیق آنالیز حساسیت کلی پارامترهای نانوماشینکاری با استفاده از میکروسکوپ روبشی حرارتی دینامیکی مورد مطالعه قرار می‌گیرد. بدین منظور مقطع یک نمونه نانوماشینکاری‌شده با جاروب‌کردن تیپ با شعاع‌های مختلف بر روی پاسخ ارتعاشی کل سیستم در سرعت‌ و دماهای متفاوت شبیه سازی می‌شود. نشان داده می‌شود که با افزایش دما، عمق نانوماشینکاری کاهش و با افزایش شعاع تیپ، عمق نانوماشینکاری افزایش می‌یابد. همچنین اظهار می‌گردد که با افزایش سرعت حرکت پروب، صافی سطح نهایی نانوماشینکاری کاهش می‌یابد. سپس شاخص‌های سوبول برای میانگین عمق و صافی سطح نهایی نانوماشینکاری مورد بررسی قرار می‌گیرد. نشان داده می‌شود که، بر روی میانگین عمق نانوماشینکاری تنها دما و شعاع تیپ اثر داشته و اثرات سرعت حرکت پروب و برهمکنش بین پارامترها ناچیز می‌باشد. همچنین اظهار می‌شود، علاوه بر تاثیر قابل‌توجه هر 3 پارامتر بر روی صافی سطح نهایی نانوماشینکاری، برهمکنش بین این پارامترها بسیار اثرگذار می‌باشد. سپس شاخص‌های کل و شاخص‌های سوبول با یکدیگر مقایسه می‌گردند. بیان می‌شود، میزان شاخص‌های کل نسبت به شاخص‌های سوبول در رابطه با صافی سطح نهایی نانوماشینکاری به طور قابل‌توجهی بیشتر می‌باشد. در رابطه با میانگین عمق نانوماشینکاری، شاخص‌های کل و شاخص‌های سوبول برای دو پارامتر دما و شعاع تیپ تقریباً با هم برابرند و اثرات سرعت حرکت پروب بر روی عمق نانوماشینکاری بسیار ناچیز می‌باشد.  UR - https://mej.aut.ac.ir/article_4101.html L1 - https://mej.aut.ac.ir/article_4101_4b54b4e344afd97539e7fcfac9c18b0a.pdf ER -